[发明专利]一种环形触点射频微机械开关及其制备方法在审
| 申请号： | 202110052935.4 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112839429A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜理利;黄镇;王冬蕊;吴杰;黄旼 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H05K1/02 | 分类号： | H05K1/02;H05K3/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 姜慧勤 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶端下方有环形触点，悬臂梁下面的衬底结构表面有驱动电极。制备方法包括：在衬底上溅射金属并刻蚀形成共面波导结构和驱动结构；在共面波导结构和驱动结构上涂覆一层牺牲层；各向异性刻蚀牺牲层形成环形凹槽；各向同性刻蚀，拓展凹槽形成圆环形触点；在牺牲层上溅射一层金属并刻蚀出悬臂梁结构，然后电镀增厚；腐蚀牺牲层释放结构获得开关。本发明环形触点结构大大增加触点接触面积，从而提高开关导通态性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 触点 射频 微机 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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