[发明专利]硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法有效
| 申请号： | 202110050367.4 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112858723B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 施芹;裘安萍;夏国明;赵阳 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01P15/097 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 汪清 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法，加速度计结构设置在三层单晶硅的中层单晶硅片上，该结构包括质量块、两个谐振器、四个微杠杆放大机构、应力释放机构、多个支撑梁和多个固定基座；两个谐振器沿着x轴对称布置在质量块中间，微杠杆放大机构位于两个谐振器之间；两个谐振器内侧一端分别与两个微杠杆的输出端相连，与同一个谐振器相连的两个微杠杆的支点端连接到同一个应力释放机构，应力释放机构再与固定基座相连，谐振器的另一端也设有应力释放机构；微杠杆放大机构与质量块相连，质量块通过支撑梁与固定基座相连，固定基座与上、下层单晶硅的固定基座相连。本装置提高了加速度计抗振动抗冲击能力，减小了温度系数。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 加速度计 干扰 抑制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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