[发明专利]一种微纳尺度离子束外束引出装置

摘要

本发明公开了一种微纳尺度离子束外束引出装置与离子源连接，本发明微纳尺度离子束外束引出装置包括第一腔室、气阻、第二腔室、四维移动平台及毛细管；第一腔室分别与离子源及气阻连接，气阻与第二腔室连接，根据第一腔室与第二腔室的气压差，使离子源产生的离子束传输至第二腔室，第二腔室与四维移动平台连接，四维移动平台与毛细管连接，四维移动平台控制毛细管在与离子束方向垂直的平面上移动，以及调节毛细管的倾斜角和俯仰角，使第二腔室的离子束进入毛细管，毛细管将离子束引出至大气，从而得到束斑尺寸微米量级甚至纳米量级的高品质离子外束。