[发明专利]用于传感器或麦克风设备的微机械组件在审
| 申请号： | 202110046944.2 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN113120852A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | H·韦伯;A·朔伊尔勒;C·赫尔梅斯;P·施莫尔格鲁贝尔;T·弗里德里希 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于传感器或麦克风设备的微机械组件，其具有膜片载体结构、构造在膜片载体结构中并与膜片内侧邻接的空腔和分离沟道，膜片载体结构具有构造在膜片载体结构的表面上的膜片，分离沟道穿过膜片载体结构的表面地结构化并且延伸至空腔并完全包围膜片，分离沟道通过至少一种分离沟道封闭材料以介质密封的方式和/或以空气密封的方式被密封，至少一个蚀刻通道在所述膜片载体结构中与分离沟道分开地构造，其分别从其第一蚀刻通道区段延伸至其第二蚀刻通道区段，第一蚀刻通道区段通到所述空腔中，第二蚀刻通道区段分别通过至少构造在膜片载体结构的表面的外部部分面上的至少一个蚀刻通道封闭结构以介质密封和/或空气密封的方式密封。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传感器 麦克风 设备 微机 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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