[发明专利]电子器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110045112.9 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112951902A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张兆萱;王可心;何成;孙伟 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;北京大学 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L21/285 |
| 代理公司： | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李伟波;韩德凯 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种电子器件，包括：第一电极，第一电极由单晶金属纳米颗粒构成；第二电极，第二电极由单晶金属纳米颗粒构成，其中，第一电极和第二电极在一个方向中排列，并且第一电极的一端与第二电极的一端相向设置，并且第一电极的一端与第二电极的一端形成小的间距(10nm以下)；以及介电层，介电层由低介电常数材料形成，并且介电层至少设置在间距中。本公开还提供了一种10nm以下小间距电子器件的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电子器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学;北京大学，未经大连理工大学;北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110045112.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
