[发明专利]一种中红外超导纳米线单光子探测器有效
| 申请号： | 202110042317.1 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112798116B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张蜡宝;陈奇;葛睿;李飞燕;张彪;靳飞飞;韩航;康琳;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00;H01L39/12;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 康翔 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中红外超导纳米线单光子探测器，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，将含Mo、Si非晶或多晶超导薄膜，制成超导纳米线，作为探测器的光敏面，实现了中红外SNSPD的有效制备；采用中红外光源、可调衰减器、准直器、带通滤波器、稀释制冷机、光敏面、偏置器、放大器和计数器，组成探测器，采用自由空间耦合技术，有效解决了光纤耦合中红外SNSPD的难题；发射并接收中红外波段的光子，计算单位时间到达光敏面的光子数，为有效计算中红外SNSPD量子探测效率奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 导纳 米线 光子 探测器 | ||
【主权项】：
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