[发明专利]用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置及工作方法在审
| 申请号： | 202110036146.1 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112877658A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 田野;褚克;王伟平;王星;党玲岩 | 申请（专利权）人： | 河北北方学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 李兴林 |
| 地址： | 075000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置及工作方法，包括镀膜室、安装在所述转动轴上的多个用于放置待镀膜件的转盘、设置在所述镀膜室内并对称安装在所述转动轴两侧的第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶；在所述镀膜室上设置有对所述第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶进行冷却降温的冷却系统。本申请中通过在所述镀膜室的顶部安装有旋转工作架，在所述旋转工作架上安装有用于驱动所述转动轴转动的减速驱动电机，从而通过电机带动转盘上的待镀层件进行转动，便于各个角度均匀地进行磁控溅射镀层；另外在冷却系统中回转排布的冷却管有效地对磁控溅射对靶进行降温，从而提高磁控溅射对靶运行的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 复合材料 表面 镀层 喷射 装置 工作 方法 | ||
【主权项】：
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