[发明专利]基于纳米孔阵列结构的滤光片

摘要

本发明公开了一种基于纳米孔阵列结构的滤光片，主要解决现有滤光片结构复杂、加工难度大、稳定性低，及对不同偏振方向的入射光不能获得相同透射率的问题。其包括：基底(1)，金属膜(2)以及纳米孔阵列(3)，金属膜(2)位于基底(1)的上面，该纳米孔阵列(3)由圆孔(31)和正菱形孔(32)，并按行或列以周期P交错排列刻蚀在金属膜(2)的表面，且圆孔(31)所在行和列均与正菱形孔(32)所在行和列间隔半个周期，使任意一个孔的中心到其周围相邻的四个孔的中心距离相同，通过改变周期P，实现对滤光片透射率的调控。本发明结构简单，易于制造，稳定性高，能获得不同偏振方向入射光照射下的相同透射率，可用于光谱重建。