[发明专利]一种新型研磨液供应系统在审
| 申请号： | 202110017234.7 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112775844A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘俊成 | 申请（专利权）人： | 黑曼巴半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 徐永雷 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型研磨液供应系统，包括设备主体，所述设备主体内部设置有原液桶，所述设备主体内部位于原液桶一侧设置有储液桶，所述储液桶内部设置有搅拌机构，所述设备主体内部还设置有隔膜泵和磁力泵，所述设备主体外侧底部设置有支撑调节装置，所述隔膜泵与所述原液桶顶部通过连接管道连接，所述磁力泵与所述储液桶底部通过传输管道连接，所述磁力泵上还设置有研磨液出口管道，所述研磨液出口管道与传输管道相连。本发明的有益效果是，此新型研磨液供应系统，结构简单，实用性较强，制作的成本较低，且制作研磨液的效率较高，通过此新型研磨液供应系统，也有效提高了研磨液的供应效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 研磨 供应 系统 | ||
【主权项】：
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