[发明专利]基于TM0模式光的马赫曾德尔干涉仪及制备方法有效
| 申请号： | 202110014134.9 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112817086B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 赵瑛璇;黄海阳;仇超;甘甫烷;盛振 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/14 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于TM0模式光的马赫曾德尔干涉仪及其制备方法，结构包括：输入波导、第一模式转换器、连接臂、第二模式转换器及输出波导，其中，第二模式转化器与第一模式转换器的结构相同，具有双层锥形结构。本发明实现无论输入端输入TM0模式的入射光还是TE1模式的输入光，连接臂包括直波导段，其输出端均可以输出TM0模式和TE1模式的出射光；可以有效解决现有技术存在的马赫曾德尔干涉仪对温度较为敏感、结构复杂、尺寸大等问题：可以实现与CMOS工艺兼容，便于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 tm0 模式 马赫 曾德尔 干涉仪 制备 方法 | ||
【主权项】：
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