[发明专利]用于半导体器件的擦除验证方法及半导体器件有效
| 申请号： | 202110010731.4 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112614526B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李楷威;游开开;靳磊 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G11C16/16 | 分类号： | G11C16/16;G11C16/34 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于半导体器件的擦除验证方法及半导体器件。所述半导体器件包括存储块，所述方法包括：对所述存储块进行第一擦除操作；采用第一验证电压，对所述存储块进行第一擦除验证；若检测到所述第一擦除验证失败，则对所述存储块进行第二擦除操作；采用第二验证电压，对所述存储块进行第二擦除验证；所述第一验证电压大于所述第二验证电压，且第一验证电压大于预设验证电压。本发明能够避免擦除验证过程中HCI的发生，确保半导体器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体器件 擦除 验证 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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