[发明专利]ASC工序自动化装置在审
| 申请号： | 202080100310.4 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN115515768A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 李镐龙;金圣颢;石栽旼 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱立鸣 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种ASC工序自动化设备，包括：装载部分，已经历线锯的锭块被输入到该装载部分中；煤油清洁部分，该煤油清洁部分用于用煤油清洁锭块；预清洁部分，该预清洁部分用于对锭块进行预清洁；主清洁部分，该主清洁部分用于对锭块进行多次清洁；晶片剥离部分，该晶片剥离部分用于剥离晶锭以产生多个晶片；以及输送单元，该输送单元用于使晶锭在前进至煤油清洁部分、预清洁部分、主清洁部分和晶片剥离部分的同时线性地且向上/向下地运动。 | ||
| 搜索关键词： | asc 工序 自动化 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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