[发明专利]激光放大装置及极紫外光发生装置在审
| 申请号： | 202080098218.9 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN115244801A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 田所让;山本达也;西前顺一 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/23 | 分类号： | H01S3/23;G03F7/20;H01S3/10;H01S3/223 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 具有：激光振荡器(20)，其具有第1激光活性介质，该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体，该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡；以及激光放大器(30)，其具有第2激光活性介质，该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体，从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质，由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 放大 装置 紫外光 发生 | ||
【主权项】：
暂无信息
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