[发明专利]化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂在审
申请号: | 202080089487.9 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN114902134A | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 增田靖男;川上晃也;海老泽和明 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种容易形成分辨率以及尺寸控制性高且截面形状的矩形性良好的抗蚀剂图案的化学放大型正型感光性组合物、具备由该化学放大型正型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用所述化学放大型正型感光性组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、掺混在化学放大型正型感光性组合物中的酸扩散抑制剂。在包含通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)的化学放大型正型感光性组合物中掺混特定结构的酸扩撒抑制剂(C)。 | ||
搜索关键词: | 化学 大型 感光性 组合 及其 制造 方法 抗蚀剂膜 扩散 抑制剂 | ||
【主权项】:
暂无信息
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