[发明专利]经边缘凹槽、虚拟枢轴和自由边界提高MUT耦合效率和带宽在审
| 申请号： | 202080078573.X | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN114728311A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·毕考肖;桑迪普·阿卡拉杰;海星·权 | 申请（专利权）人： | 艾科索成像公司 |
| 主分类号： | B06B1/0603 | 分类号： | B06B1/0603 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李健;王漪 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了一种用于改善微加工超声换能器(或MUT)的机电耦合系数和带宽的方法，以及通过所述提出的方法改善的所述MUT的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 凹槽 虚拟 枢轴 自由 边界 提高 mut 耦合 效率 带宽 | ||
【主权项】：
暂无信息
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