[发明专利]用于分析气态样品的方法和装置

摘要

一种用于对气态样品(GAS1)的光谱(SPEC1)进行测量的测量装置(500)，包括：‑可调谐激光光源(LS1)，用于提供照明光束(LB0)，‑用于容纳气态样品(GAS1)的样品单元(200)，该单元(200)包括内表面(SRF1)以通过对该照明光束(LB0)的光进行反射来提供加扰光(LB1)，使得加扰光被透射通过气态样品(GAS1)，‑检测器(DET1)，用于检测被引导通过样品单元(200)的透射加扰光(LB2)的强度(ILB2)，以及‑压力控制系统(VAC1)，以使在样品单元(200)内的气态样品(GAS1)的绝对压力(PGAS1)保持小于50kPa，从而减小气态样品(GAS1)的光谱特征的光谱宽度，其中测量装置(500)被布置成通过对照明光(LB0)的光谱位置(λLB0)进行调制和通过对透射光(LB2)在照明光(LB0)的两个或更多个不同的光谱位置(λ0，λP1)处的强度(ILB2)进行检测，测量样品(GAS1)的一个或更多个光谱透射率值(ILB2(λ)/I0(λ))，其中，内表面(SRF1)的纵向尺寸(LSRF1)在内表面(SRF1)的最小直径(dSRF1)的10倍至100倍的范围内，并且其中，照明光束(LB0)在横向方向上的发散(θLB0)大于30°，从而引起加扰光(LB1)的根据内表面(SRF1)的多次连续反射。