[发明专利]脉冲DC溅射系统和方法在审
| 申请号： | 202080067145.7 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114450434A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | R·G·安多斯卡;D·R·派莱利芒特;D·克里斯蒂 | 申请（专利权）人： | 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 林金朝 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了系统和方法。一种方法包括：提供至少第一电极、第二电极和第三电极；以及使用至少两种单独的并且不同的靶材料中的每种靶材料与三个电极结合，以实现溅射。该方法还包括：在第一电处施加第一电压，第一电压在多个周期中的每个周期期间相对于第二电极在正与负之间交变；以及向第三电极施加第二电压，第二电压在多个周期中的每个周期期间相对于第二电极在正与负之间交变。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 dc 溅射 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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