[发明专利]光声气体传感器设备在审

专利信息
申请号: 202080056381.9 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN114207410A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: L·伯基;T·优林格;W·恒泽克尔 申请(专利权)人: 盛思锐股份公司
主分类号: G01N21/1702 分类号: G01N21/1702
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 郭万方
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于确定指示气体中组分的存在或浓度的值的光声气体传感器设备,包括封住测量体积(3)的测量单元格(2)和测量单元格(2)中用于让气体进入测量体积(3)的透气区域(4)。电磁辐射源(7)被布置为将电磁辐射(8)发射到测量体积(3)中,并且压力感测器(6)被布置为测量响应于测量体积(3)中的组分对电磁辐射(8)的吸收而由组分生成的声波(9)。一方面,透气区域(4)由多孔透气膜(5)表示,多孔透气膜(5)的平均孔尺寸在10nm和1pm之间。在另一方面,透气区域(4)由测量单元格(2)的包含洞(211)的区域表示,该洞穿过测量单元格(2)的其它气密材料,洞(211)的直径在100nm和10μm之间。
搜索关键词: 声气 传感器 设备
【主权项】:
暂无信息
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