[发明专利]检查射频器件的方法以及射频器件在审
| 申请号: | 202080054937.0 | 申请日: | 2020-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN114144686A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
| 发明(设计)人: | C·魏克曼 | 申请(专利权)人: | 艾尔康系统有限责任公司 |
| 主分类号: | G01R27/26 | 分类号: | G01R27/26 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 孙鹏;周学斌 |
| 地址: | 德国达*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种检查射频器件(1)的方法,所述方法允许通过改变导电元件(13)旁边或附近的可调介电材料(4)的介电材料性质来修改射频信号沿着导电元件(13)的传输和/或操控,所述方法包括以下步骤:在传递通过可调介电材料(4)之前以入射光强度和/或以已知入射相位将光束(12)通过第一基板层(2)的光学透明区域部分发射到可调介电材料(4)的测试体积中;经由被布置在第一基板层(2)的光学透明区域部分处的第一透明测试电极(6)、以及与第一测试电极相对地布置在第二基板层(3)处的第二测试电极(8)将偏置场应用到测试体积;取决于所述偏置场在传递通过可调介电材料(4)之后测量所述光束(12)的出射光强度和/或出射相位;以及根据所述偏置场基于出射光强度和入射光强度的商和/或基于所述光束(12)的入射相位与出射相位之间的相位关系来确定可调介电材料(4)的至少一个特性性质。 | ||
| 搜索关键词: | 检查 射频 器件 方法 以及 | ||
【主权项】:
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