[发明专利]使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备在审
| 申请号： | 202080053269.X | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114207193A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | W·L·卢特尔;H·斯雷德哈拉穆尔西;S·哈林格;R·J·菲利普斯;张楠;吴雨樵 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 江葳 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开用于制造硅晶硅锭的方法。所述锭使用固相硼酸作为硼源用硼进行掺杂。硼酸可在锭生长期间用于反向掺杂所述锭。还公开使用固相掺杂物的拉锭器设备。所述固相掺杂物可经安置在经移动而更靠近熔融物的表面的容器中，或蒸发单元可用于从所述固相掺杂物制造掺杂物气体。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 硼酸 掺杂 单晶硅 制造 方法 拉锭器 设备 | ||
【主权项】：
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