[发明专利]板式换能器规模封装及其制造方法有效
| 申请号： | 202080048694.X | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN114126772B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 克莱尔·班廷尼耶斯;纪尧姆·费林 | 申请（专利权）人： | 维蒙股份公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李艳兵;李新娜 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造板式换能器规模封装的方法，包括：将声学部件固定在第一载体衬底上的预定位置处，声学部件的第一表面定位成邻近第一载体衬底；将ASIC部件也固定在第一载体衬底上的预定位置处，ASIC部件的第一表面定位成邻近第一载体衬底；将光刻胶树脂施加到声学部件和ASIC部件上，使得声学部件的第二表面从光刻胶树脂中暴露出；去除第一载体衬底以暴露出声学部件的第一表面和ASIC部件的第一表面；形成包括声学部件和ASIC部件中的每一个之间的电通路的堆积层，并且去除光刻胶树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 板式 换能器 规模 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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