[发明专利]带轴的陶瓷加热器在审
| 申请号: | 202080047869.5 | 申请日: | 2020-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN114026957A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
| 发明(设计)人: | 相川贤一郎;竹林央史;久野达也 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号: | H05B3/22 | 分类号: | H05B3/22;H05B3/28;H05B3/06;H05B3/02;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 陈彦;郭玫 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 带轴的陶瓷加热器具备:陶瓷板,其埋设有电阻发热体;中空的陶瓷轴,其上端接合于陶瓷板的与晶片载置面相反侧的面上;以及轴加热部,其埋设于陶瓷轴的上端侧的侧壁中。 | ||
| 搜索关键词: | 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本碍子株式会社,未经日本碍子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202080047869.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:提高电阻温度检测器的稳定性
- 下一篇:用于产生产胰岛素β细胞的组合物和方法





