[发明专利]合成磨石有效
| 申请号： | 202080041842.5 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN113950390B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 京岛快 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京钻石工具制作所 |
| 主分类号： | B24D3/28 | 分类号： | B24D3/28;B24D3/20;B24D3/34;B24B37/10;B24B7/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在对晶片W进行化学机械磨削的合成磨石(100)中具备：对晶片W具有化学机械磨削作用、且以粒径小于5μm的气相法二氧化硅作为主成分的研磨剂(101)；由与晶片W同质或软质的材料形成、且以粒径大于研磨剂(101)的球状硅胶作为主成分的球状填充剂(102)；以及以将研磨剂(101)和球状填充剂(102)粘结成一体的纤维素作为主成分的树脂粘结剂(103)。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 磨石 | ||
【主权项】：
暂无信息
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