[发明专利]用于测量位移的光学换能器及方法在审
| 申请号： | 202080037400.3 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114175683A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·德克;雷内·海德曼;阿恩·莱因森;卡塔林·拉扎尔;劳伦·内武;科林·斯蒂尔;安德森·皮雷·桑格拉尼;戈兰·斯托扬诺维奇;西蒙·穆勒 | 申请（专利权）人： | AMS国际有限公司 |
| 主分类号： | H04R23/00 | 分类号： | H04R23/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 邰凤珠;刘继富 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测量膜片(10)的位移的集成式光学换能器(1)，包括膜片(10)、透镜元件(23)和衬底主体(20)，该衬底主体具有波导结构(21)和耦合元件(22)。膜片(10)远离衬底主体(20)并且基本平行于衬底主体(20)的主延伸平面设置。波导结构(21)配置成将光从光源(30)引导到耦合元件(22)，并且从耦合元件(22)引导到光电检测器(31)。耦合元件(22)被配置成将波导结构(21)中的光的至少一部分耦合到在耦合元件(22)与膜片(10)之间的光路上，并且将膜片(10)的表面反射的光从光路耦合到波导结构(21)中。透镜元件(23)设置在光路上，使得光路上的光穿过透镜元件(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 位移 光学 换能器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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