[发明专利]原位光学腔室表面及处理传感器在审
| 申请号： | 202080027448.6 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113661380A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 林庄嘉;乌彭铎·乌梅塔拉;史蒂文·E·巴巴扬;连·雷 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01J3/12 | 分类号： | G01J3/12;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文揭露的实施方式包含光学传感器系统及使用这些系统的方法。在一实施方式中，光学传感器系统包括：外壳及光学路径，所述光学路径穿过所述外壳。在一实施方式中，所述光学路径包括第一端及第二端。在一实施方式中，反射器位于所述光学路径的所述第一端处，且透镜位于所述反射器及所述光学路径的所述第二端之间。在一实施方式中，光学传感器进一步包括开口，所述开口在所述透镜及所述反射器之间穿过所述外壳。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 光学 表面 处理 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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