[发明专利]正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法在审
| 申请号： | 202080025092.2 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113632007A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 明石一通;浦部慈子;张锐;片山朋英 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够形成适合剥离的图案形状的正型抗蚀剂组合物。一种正型抗蚀剂组合物，其包含(A)特定的聚合物、(B)具有酰亚胺基的产酸剂、(C)溶解速度调节剂，和(D)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 使用 抗蚀剂 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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