[发明专利]用于化学机械抛光承载头的固定器在审
| 申请号： | 202080019700.9 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113573844A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | A·J·纳耿加斯特;S·M·苏尼加 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于化学机械抛光的承载头包括：基部、致动器、基板安装表面和固定器。固定器包括通过柔性件连接的内段和外段。固定器的内段的底部提供下表面的内部部分，所述下表面的内部部分被配置成接触抛光垫。内段的内表面从下表面的内边缘向上延伸，以周向地围绕基板安装表面。固定器的内段被定位成接收来自致动器的可控制的负载，并且可相对于基部垂直地移动。固定器的外段的底部提供下表面的外部部分。固定器的外段垂直地固定到基部。固定器的内段可相对于固定器的外段垂直地移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 承载 固定器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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