[发明专利]感光性树脂组合物、抗蚀剂图案膜的制造方法、及镀敷造形物的制造方法在审
| 申请号： | 202080017960.2 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113508337A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 佐野有香;松本朋之;榊原宏和 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王茜;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物，用于形成驻波轨迹得到抑制且剖面为矩形的抗蚀剂图案膜。本发明的感光性树脂组合物含有：具有酸解离性基的聚合物(A)；光酸产生剂(B)；具有羟基的氨基甲酸酯(C)；以及溶剂(D)，所述溶剂(D)含有：选自丙二醇单甲醚乙酸酯等中的至少一种溶剂(D1)；以及选自二丙二醇二甲醚等中的至少一种溶剂(D2)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 抗蚀剂 图案 制造 方法 造形 | ||
【主权项】：
暂无信息
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