[发明专利]用于椭偏确定样品特性的方法在审
| 申请号： | 202080009440.7 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN113302471A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·杜韦 | 申请（专利权）人： | 欧库睿因有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨靖;韩毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于椭偏确定样品(12)的特性的方法，该方法包括以下步骤：‑将样品(12)定位在椭偏仪(10)中，其中，样品表面的测量区域的面法线(n)相对于椭偏仪(10)的参考轴线(z)倾斜，‑针对测量区域测量缪勒矩阵；‑根据使所测得的缪勒矩阵与如下矩阵的矩阵乘积相等来建立至少非欠定的方程组：+关于输入旋转角(γ)的旋转矩阵，+归一化的NCS形式的各向同性的缪勒矩阵，和+关于输出旋转角(‑δ)的旋转矩阵；‑根据代表待确定的样品特性的参数求解所述方程组。本发明的特征在于，在建立方程组时，将输入旋转角(γ)和输出旋转角(‑δ)拟设为相互独立的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 样品 特性 方法 | ||
【主权项】：
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