[发明专利]压电振子及其制造方法在审
| 申请号： | 202080007506.9 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113228502A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 松村威哉;河森慎介 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;王海奇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供压电振子及其制造方法，压电振子(1)的制造方法包含：形成一对激励电极(14a、14b)分别包含基底层以及表面层，基底层包含铬的压电振动元件(10)的工序；通过导电性保持部件(36a、36b)将压电振动元件(10)搭载于基座部件(30)的工序；以及设置盖部件(20)的工序，还包含使从基底层扩散到表面层的铬氧化来形成氧化铬的工序，在一对激励电极(14a、14b)中基座部件(30)侧的激励电极(14b)中，表面层的表面的氧化铬的量比盖部件(20)侧的激励电极(14a)多。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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