[实用新型]装载台、承载台及检测设备有效
| 申请号： | 202023349571.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214310395U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李海卫;王少斌;张鹏斌;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 邵泳城 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种装载台，装载台用于承载提篮，提篮用于安装晶圆的胶膜框架，装载台包括本机及多个第一检测件，本体设置有多个检测位，多个第一检测件对应安装在多个检测位，在提篮搭载在装载台上时，第一检测件能够与提篮配合以检测提篮的尺寸。本申请还公开了一种承载台及检测设备，通过多个检测位上的第一检测件与提篮相配合，可以检测到搭载在装载台上的提篮的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 装载 承载 检测 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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