[实用新型]供给装置以及涂覆设备有效
| 申请号： | 202023328961.5 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214654482U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 季元;张晖;黄钰成 | 申请（专利权）人： | 阿科玛法国公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王冉 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种供给装置以及涂覆设备。所述供给装置包括中空管形式的供给管(110)和加热供给管(110)以加热通过该供给管提供的涂覆化合物或其前体的加热器(120)，所述供给管包括入口和出口，所述涂覆化合物或其前体在所述入口加入所述供给管，而所述涂覆化合物或其前体在所述出口被排放到涂覆设备，所述供给装置还包括控制器(210)，所述控制器被配置成控制供给到所述加热器(120)的功率以将所述加热器保持在预定温度。由此可以提高涂覆效率、避免过热的涂覆化合物对供给管的污染，减少涂覆化合物或其前体的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 装置 以及 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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