[实用新型]一种坩埚结构有效
| 申请号： | 202023278737.X | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214120755U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10;C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨鹏 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种坩埚结构，涉及晶体生长技术领域。坩埚结构包括坩埚体、坩埚盖、多个原料筒及多个隔离板，坩埚体及坩埚盖形成容置腔，原料筒用于承装原料，多个原料筒均可拆卸地设置在容置腔内，隔离板设置在相邻的两个原料筒之间。在本实用新型实施例中，原料筒用于承装原料，多个原料筒中可以承装不同的原料，原料筒可拆卸地安装在容置腔内，并且相邻的两个原料筒之间设置有隔离板，相邻的两个原料筒的加热互不影响，同一个容置腔内可以放置不同炉次的原料筒从而对原料进行加热预处理，提高了整个坩埚结构的利用率，提高了坩埚结构的机台生长稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 结构 | ||
【主权项】：
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