[实用新型]一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机有效
| 申请号： | 202023263655.8 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214555659U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 谢高军 | 申请（专利权）人： | 长电（深圳）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳驿航知识产权代理事务所(普通合伙) 44605 | 代理人： | 孙小丁 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，包括机体，所述机体底部四周壁体上分别设有底座，所述机体前端壁体中设有维护门，所述机体顶部前端壁体上设有顶盖，所述顶盖与机体一侧壁体之间设有液压杆，所述顶盖前端两侧与维护门前端两侧壁体之间分别设有搭扣，所述顶盖前端上方壁体中还设有检查视窗，所述顶盖前端壁体上还设有把手，所述机体一侧壁体上设有控制箱。本实用新型所述的一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，涉及治具清洗设备技术领域，通过可伸缩的防护机构的设置，能够便于在设备使用时，对其进行防护，同时，通过内部的顶块与固定杆、压缩弹簧的设置，便于防护罩回位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工用 自动 喷淋 清洗 | ||
【主权项】：
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