[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 202023257221.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214168106U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黄苒;赵博华 | 申请（专利权）人： | 天津市滨海新区微电子研究院 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 李蓓蕾 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区骊*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜板，包括：基板和遮挡板；所述基板和若干个所述遮挡板一体化设置；所述遮挡板上开设有若干个凹槽，所述凹槽的厚度尺寸和所述遮挡板的厚度尺寸相同；所述遮挡板的厚度为小于10纳米。如此，由于遮挡板的厚度为小于10纳米，所以避免了现有技术中因金属掩膜板只能制作面积较大的OLED器件的问题，本实用新型能够制作出面积较小的OLED微显示器，扩展了制作OLED显示产品的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
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