[实用新型]基于真空内部移动升降的补偿位移装置有效
| 申请号： | 202023237975.6 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214795082U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 马争朝;邹海方;刘世文 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 卢杏艳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种基于真空内部移动升降的补偿位移装置，真空装置包括外壳，外壳设有真空腔，基于真空内部移动升降的补偿位移装置包括：托板，设于真空腔内；导杆，导杆的一端穿设外壳进入真空腔，并与托板固定连接；波纹管，波纹管的变形方向为上下方向；连接板，连接板的一端与导杆远离托板的一端固定连接，另一端与波纹管的顶部连接；驱动机构，用于驱动连接板上下移动，以驱动导杆上下移动，带动托板在真空腔内上下移动。通过托板、导杆、波纹管、连接板和驱动机构之间的配合，将真空环境中需要实现的升降运动引申到大气环境中，有效的解决了真空腔体中四维平台Z轴的速度和位移受限制的问题，结构简单，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 真空 内部 移动 升降 补偿 位移 装置 | ||
【主权项】：
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