[实用新型]一种洗净机内部机箱加热系统有效
| 申请号： | 202023236310.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN213991072U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张迪 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B6/14 | 分类号： | H05B6/14;H05B6/06;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种洗净机内部机箱加热系统，所属硅片洗净机技术领域，包括机架，所述的机架内设有机械臂，所述的机架下端设有药液箱，所述的药液箱上端设有隔热板，所述的隔热板上方设有位于机械臂两侧的加热线圈，所述的机械臂上设有与药液箱相活动式触接的硅片框，所述的机械臂外侧设有温度传感器，所述的机架侧边设有与温度传感器相电路连通的控温仪。具有结构简单、运行稳定性高和效果好的特点。解决了清洗药液残留的问题。实现减少污染和药液浪费的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洗净 内部 机箱 加热 系统 | ||
【主权项】：
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