[实用新型]MEMS芯片、麦克风以及电子设备有效
| 申请号： | 202023200088.1 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN214070154U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 林园绍;周宗燐;邱冠勋 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS芯片、麦克风以及电子设备。其中，MEMS芯片包括基座，定义所述基座具有呈相对设置的两端，所述基座设有贯穿其相对两端的通孔，所述基座还设有连通所述通孔和外界的过气孔；振膜，所述振膜设于所述基座的一端，并遮盖所述通孔；以及封堵件，所述封堵件设于所述基座，并可打开或者遮盖所述过气孔，以导通或者阻断所述通孔至外界的气流流向。本实用新型技术方案能够提高MEMS芯片的抗气流冲击能力，从而有利于延长MEMS芯片的使用年限。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 麦克风 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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