[实用新型]一种基于激光传感器的晶圆定位装置

摘要

本实用新型公开了一种基于激光传感器的晶圆定位装置，包括晶圆盒以及位于晶圆盒一侧的检测单元，所述晶圆盒自上而下设置用于承载晶圆的装载台；所述检测单元包括控制器、检测框架以为位于检测框架中的滑轨、激光测距传感器、激光挡板、检测盖和晶圆扫描传感器；其中，所述晶圆扫描传感器和激光挡板固定在所述检测盖上，所述激光测距传感器固定在所述检测框架一侧；所述检测盖沿着所述滑轨上下移动；所述激光测距传感器、激光挡板和晶圆扫描传感器连接至控制器。本实用新型提供的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，能够快速准确地确定晶圆盒中晶圆的位置，且整个检测装置占地面积小，安装简便。