[实用新型]蒸镀设备有效
| 申请号： | 202023115357.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN214168112U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李洸焄 | 申请（专利权）人： | 乐金显示光电科技（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 510530 广东省广州市广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸发源装置和工作平台，工作平台设置有贯穿其上下两侧面的多个蒸镀孔，多个蒸镀孔沿第一方向间隔设置，蒸发源装置位于工作平台的下方，工作平台的上侧面设置有温度计和用于运送掩模组件的驱动装置，驱动装置运送掩模组件沿第一方向运动，并使掩模组件与蒸镀孔选择性正对，蒸发源装置产生的蒸镀气体能够穿过蒸镀孔流至掩模组件并形成薄膜结构，温度计用于测量蒸镀气体的温度。通过在工作平台上设置温度计，温度计用于测量掩模组件的下侧面以及周围区域的蒸镀气体的温度，以利于对蒸镀气体的温度进行实时监控，具有保证蒸镀质量和蒸镀效率的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
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