[实用新型]一种基于WO3

摘要

本实用新型公开了一种基于WO3‑Pd2Pt‑Pt复合膜的多点测量氢气传感器，包括宽带光源、光环形器、长距离单模传输光纤、阵列波导光栅、镀有氢敏材料的光纤传感头、光电探测器、信号处理模块和PC机；所述的镀有氢敏材料的光纤传感头首先在单模光纤端面用热蒸发法沉积WO3，然后利用BESTECH溅射系统在WO3薄膜表面溅射Pd2Pt和Pt形成；当氢气浓度发生变化时，WO3‑Pd2Pt‑Pt复合膜的反射率迅速改变，导致经传输光纤平整端面的反射光变化，进而阵列波导光栅的反射光强发生改变，通过光电探测器和PC机，即可实现对氢气浓度的测量。本实用新型具有结构简单，稳定性高，响应速度快，可同时多点测量等优点。