[实用新型]分立式微波激励器和等离子光源装置有效
| 申请号： | 202022975097.1 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN213366529U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 何梁;何磊;乔乾;潘虹 | 申请（专利权）人： | 清华四川能源互联网研究院 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 董艳芳 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型的实施例提供了一种分立式微波激励器和等离子光源装置，涉及照明技术领域。等离子光源装置包括分立式微波激励器。分立式微波激励器包括壳体、控制器、信号发生器、功率放大器、隔离保护器和输出端头；壳体具有容置腔，控制器、信号发生器、功率放大器和隔离保护器均位于容置腔内、且连接在壳体的内壁上，控制器、信号发生器、功率放大器和隔离保护器层叠设置，输出端头连接在壳体的外壁上；信号发生器、功率放大器、隔离保护器和输出端头依次采用软线连接，控制器与信号发生器、功率放大器、隔离保护器均采用软线连接。分立式微波激励器和等离子光源装置能够通过合理布局各个模块，减小整体的长宽比，实现更高程度的集成。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 微波 激励 等离子 光源 装置 | ||
【主权项】：
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