[实用新型]具有超结晶体管机构的集成电路系统有效
| 申请号： | 202022926608.0 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN214313214U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 苏毅 | 申请（专利权）人： | 南京紫竹微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/423;H01L27/088;H01L21/8234;H01L21/28 |
| 代理公司： | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人： | 于晓菁 |
| 地址： | 210008 江苏省南京市江北新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种包含分立栅极超结单元的集成电路系统，所述分立栅极超结单元包含：高度掺杂衬底，其包含第一极性；包含所述第一极性的外延层，其在所述高度掺杂衬底上生长；条形栅极沟槽，其在所述外延层中形成；条形栅极多晶硅层，其在所述条形栅极沟槽中形成；包含第二极性的点主体植入物，其邻近与所述条形栅极多晶硅层相对的所述条形栅极沟槽植入；以及包含所述第二极性的导电列，其在所述点主体植入物的中心中植入并且延伸到所述外延层中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 结晶体 机构 集成电路 系统 | ||
【主权项】：
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