[实用新型]一种用于清洗晶圆的夹紧装置有效
| 申请号： | 202022845241.X | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN214022501U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 郭炳熙;周铁军;米艳娇 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/02 | 分类号： | B08B11/02;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄华莲 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种用于清洗晶圆的夹紧装置，包括：第一环体；第二环体，其套设在第一环体的外部；驱动机构，其用于驱动第二环体沿第二环体的轴向方向上移动；及多个支杆，支杆穿设于第一环体，且支杆的第一端与第二环体固定连接，支杆的第二端位于第一环体的内圈中，支杆的第二端具有用于夹持晶圆侧壁的夹持部。本实用新型将支杆穿过第一环体，利用第一环体作为支杆摆动的支点，当第二环体可以沿其轴向的方向上移动，带动支杆的第一端随第二环体移动，从而使支杆的第二端朝支杆的第一端移动方向的相反一侧移动，进而调整多个支杆之间的间距，以使夹持部可以夹持不同规格的晶圆，使夹紧装置具有通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 夹紧 装置 | ||
【主权项】：
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