[实用新型]一种无线智能切换的离子源灯丝及离子注入设备有效
| 申请号： | 202022834178.X | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN213212102U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 庄泽如 | 申请（专利权）人： | 庄泽如 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 李健威 |
| 地址： | 515300 广东省揭阳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种无线智能切换的离子源灯丝，包括至少两个灯丝、电源模块、切换模块和智能控制模块，所述电源模块通过所述切换模块与所述至少两个灯丝切换连接；所述智能控制模块连接控制所述切换模块进行切换，具有无线通讯单元，所述无线通讯单元用于通过无线网络从远程控制终端处接收远程切换指令。该离子源灯丝可通过远程方式对离子源中的多个灯丝进行无线智能切换。本实用新型还提供一种离子注入设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无线智能 切换 离子源 灯丝 离子 注入 设备 | ||
【主权项】：
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