[实用新型]一种用于靶材的高效真空干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种用于靶材的高效真空干燥装置，包括外壳和抽气机。本实用新型通过设置有螺纹杆，通过转动转轮带动螺纹杆转动，并且通过齿轮的相互啮合转动，可以使得同一高度的两个螺纹杆带动顶板运动，改变同一高度两侧顶板之间的间距，并且通过夹板的左右可以实现对不同大小尺寸和形状的靶材实现固定操作，便于干燥装置的使用，极大的提高了干燥装置使用的通用性；通过设置有电机，通过电机可以带动转轴上的圆板转动，圆板带动其上侧固定的靶材实现转动，从而使得加热器能够实现对靶材的高效且均匀的加热干燥操作，有效的提高了对靶材的干燥效率。本实用新型具有干燥效率高和通用性好的优点。