[实用新型]一种高纯度三氯化铟的制备系统有效
| 申请号： | 202022732482.3 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN213976993U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徐成;刘华胜;郭高伟;周声万;戴曲柯 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | C01G15/00 | 分类号： | C01G15/00;B01D7/00;B01D7/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;管莹 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯度三氯化铟的制备系统，包括套管、升华容器、凝华容器、升华控温结构和凝华控温结构；所述升华容器和凝华容器设于所述套管中，所述升华容器和凝华容器呈开口相对的试管状，且二者可拆卸式密闭连接；所述套管的两端具有投料口和出料口，所述投料口和出料口上设有阀门；所述升华控温结构设于所述升华容器所在处的套管外部，所述凝华控温结构位于所述凝华容器所在处的套管外部；所述套管上还连接有真空泵的接口，以及惰性气体或氮气的接口。本实用新型中的高纯度三氯化铟的制备系统，其可以获得更高纯度的无水三氯化铟，以便应用在IC行业中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 氯化 制备 系统 | ||
【主权项】：
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