[实用新型]一种硅片生产用清洗装置有效
| 申请号： | 202022690451.6 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN214321058U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 方勇华;詹玉峰;陈跃华;方萌 | 申请（专利权）人： | 浙江旭盛电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B7/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片生产用清洗装置，涉及半导体领域。该硅片生产用清洗装置，包括箱体，所述箱体的顶部搭接有盖板，所述盖板的上表面固定连接有加压箱，所述盖板的下表面固定连接有水箱，所述水箱的下表面固定连接有喷头，所述加压箱的下表面固定连接有导管。该硅片生产用清洗装置，通过安装板、漏网盖、固定杆、漏网盒、固定块、螺纹环和螺杆的配合，达到将待清洗的硅片进行放置，通过电机和连接轴的配合，达到在对于硅片冲洗过程中，使得硅片进行旋转甩动，将其表面存留的污染物甩除，解决了现有的硅片生产用清洗装置单纯采用冲洗方式进行清洗，此清洗方式在硅片表面还会存留一部分微量污染物的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 生产 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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