[实用新型]卧式炉管用排片舟有效
| 申请号： | 202022680789.3 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213366550U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李晓佳;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 葛军 |
| 地址： | 225008 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 卧式炉管用排片舟。提供了一种结构简单，方便加工，充分利用空间的卧式炉管用排片舟。包括设于炉管内的板状舟体，所述舟体上均布设有限位单元，所述限位单元包括四只插棒，所述插棒可拆卸连接在舟体上；所述舟体沿炉管中心线方向的底部两端分别设有倒角，所述倒角的端面可拆卸设有定位部。所述定位部的截面呈三角形。所述定位部的截面呈扇形。所述定位部上设有定位销，所述倒角的端面设有定位槽，所述定位销连接在定位槽内。本实用新型方便加工，操作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 炉管 用排片舟 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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