[实用新型]一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置有效
| 申请号： | 202022673593.1 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213276256U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡明挽 | 申请（专利权）人： | 广东深科电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 苏映惜 |
| 地址： | 515400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种4H‑SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座，底座上端固接有支座和支架，传送轴前端连接有传动组件，传送辊上传动连接有传送履带，支撑板上设置有拉伸组件，升降板与固定板之间设置有弹簧，升降板上设置有清扫组件，连杆下端安装有喷胶头；通过传动组件带动托盘及基片间歇性往右输送，对基片输送方便，通过拉伸组件带动清扫刷接触基片，同时通过清扫组件使得清扫刷对基片进行清扫，避免了基片上沾染的各种灰尘异物而导致涂覆光刻胶后表面不平整均匀的情况，通过刮板将基片上的光刻胶刮涂均匀，提高了基片的涂覆效果，本装置同一时间在对多个基片进行加工，避免了现有需要人工一个个装卸进行涂覆，省时省力且极大提高了基片的光刻胶涂覆效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 整流 工用 光刻 胶涂覆 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东深科电子有限公司，未经广东深科电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022673593.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种伺服电机的组合式定转子结构
- 下一篇：一种高压熔断器底座
